
Ion Implantation: Basics to Device Fabrication
- Kirjailija
- Emanuele Rimini
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1995
- ISBN
- 9781461359524
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 23.2.2014
- Kustantaja
- Springer-Verlag New York Inc.
- Sivumäärä
- 393