Impurity Diffusion and Gettering in Silicon: Volume 36
- Toimittaja
- Fair Richard B., Charles W. Pearce, Washburn Jack
- ISBN
- 9781107405608
- Kieli
- englanti
- Paino
- 410 grammaa
- Sarja
- MRS Proceedings
- Julkaisupäivä
- 5.6.2014
- Kustantaja
- Cambridge University Press
- Sivumäärä
- 300
