
Entwicklung einer Prozesssteuerung für einen Dünnschicht-Polysilizium-CVD-Reaktor
- Kirjailija
- A. S. Priya, S. Vinod Kumar, Sibin K. Mathew
- ISBN
- 9786207107841
- Kieli
- saksa
- Paino
- 209 grammaa
- Julkaisupäivä
- 29.1.2024
- Kustantaja
- Verlag Unser Wissen
- Sivumäärä
- 128