Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope
It presents the principle, structure and related technology of silicon-based MEMS gyroscope.
- Kirjailija
- Huiliang Cao
- Painos
- 2023 ed.
- ISBN
- 9789811992469
- Kieli
- englanti
- Paino
- 446 grammaa
- Julkaisupäivä
- 18.4.2023
- Kustantaja
- SPRINGER VERLAG, SINGAPORE
- Sivumäärä
- 224