
Design for Manufacturability with Advanced Lithography
- Kirjailija
- Bei Yu, David Z. Pan
- Painos
- Softcover reprint of the original 1st ed. 2016
- ISBN
- 9783319373935
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 23.8.2016
- Kustantaja
- Springer International Publishing AG
- Sivumäärä
- 164