
Defect Engineering in Transition Metal Based Nitride Thin Films by Energetic Treatment During Deposition
- Kirjailija
- Christina W?stefeld
- ISBN
- 9783832542672
- Kieli
- englanti
- Paino
- 310 grammaa
- Julkaisupäivä
- 7.6.2016
- Kustantaja
- Logos Verlag Berlin GmbH
- Sivumäärä
- 229