
Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
- Alaotsikko
- Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle
- Kirjailija
- Ronald Hellriegel
- Painos
- 001
- ISBN
- 9783839106938
- Kieli
- saksa
- Paino
- 208 grammaa
- Julkaisupäivä
- 25.6.2009
- Kustantaja
- BoD - Books on Demand
- Sivumäärä
- 136