???????? ????????? ? ??????? ?????????? н

Разработка микроэлектронных устройств повышенной плотности - это воздействие напряжений, вызванных несоответствием коэффициента теплового расширения (КТР) используемых материалов. Здесь я обсуждаю использование трехмерного моделирования зернового континуума для изучения миграции границ зерен, вызванной различиями в плотности энергии деформации. Comsol Multiphysics 4.3a (CM) используется для расчета напряжений и плотности энергии деформации в поликристаллических структурах, вызванных изменениями температуры. Мы рассматриваем каждое зерно как монокристалл, при этом анизотропные упругие свойства монокристалла Cu соответствующим образом поворачиваются, чтобы соответствовать ориентации зерна в пространстве.