??????????????? ??????? ????????

Хорошо известно, что микроэлектроника является одной из самых влиятельных технологий двадцатого века. Бум микроэлектромеханических систем (МЭМС) в последние годы был бы невозможен без зрелости технологии микроэлектроники. МЭМС - это небольшие, интегрированные устройства, которые объединяют электронику, электрические и механические элементы на одном чипе. МЭМС обещает революционизировать большинство микропродуктов, объединив микропроизводство с процессом микрообработки. Беспрецедентный уровень превосходства, сложности, функциональности, надежности и доступности может быть достигнут на маленьком кремниевом чипе при относительно низкой стоимости. МЭМС на наноуровне подразделяются на наноэлектромеханические системы (НЭМС) и нанотехнологии.