Wachstum von Dünnschichtmaterialien durch elektrische Entladung

Ein D nnfilm ist eine Schicht oder mehrere Schichten eines Materials mit einer Dicke von Nanometern (Monolayer) bis zu mehreren Mikrometern. Wenn mehrere d nne Schichten bereinander liegen, spricht man von einer Mehrschichtstruktur. D nne Schichten werden zu verschiedenen Zwecken auf ein Substrat aufgebracht, z. B. zum Schutz des Substrats, zur Ver nderung seines Aussehens zu dekorativen Zwecken, zur Ver nderung der optischen oder elektrischen Eigenschaften des Substrats und vieles mehr.Das Verfahren der D nnschichtabscheidung ist f r zahlreiche Anwendungen von gro er Bedeutung. Dabei wird eine d nne Schicht eines beliebigen Stoffes auf eine Oberfl che aufgebracht, sei es ein Substrat oder bereits abgeschiedene Schichten. Je nach der vorherrschenden physikalischen oder chemischen Natur des Prozesses k nnen die Abscheidetechniken grob in zwei Gruppen eingeteilt werden. In diesem Vortrag werden die in diesem Bereich am h ufigsten verwendeten Verfahren vorgestellt.