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Technologien der Mikrosysteme
Spara

Technologien der Mikrosysteme

Författare:
Tyska
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Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).

Författare
Ha Duong Ngo
Upplaga
1. Aufl. 2022
ISBN
9783658374976
Språk
Tyska
Vikt
310 gram
Utgivningsdatum
2023-01-02
Sidor
246