Processamento de película PZT

Nas ltimas quatro d cadas, o desenvolvimento da ind stria microeletr nica tem marcado a tend ncia para a produ o de materiais ultrafinos (com microestrutura nanom trica) e ultrapuros (sem impurezas ou defeitos) que garantam um aumento da efici ncia funcional das suas pe as com o menor volume poss vel. O objetivo geral deste trabalho foi sintetizar (deposi o e recozimento) filmes ferroel ctricos de Titanato de Chumbo (PT) depositados sobre substrato Pt/Ti/SiO2/Si . O m todo utilizado foi o CVD-AA devido aos factores acima mencionados. Em geral, neste tipo de filmes, o recozimento um passo necess rio para obter a fase Perovskite (ferroel ctrica) desejada. O trabalho inclui a respectiva an lise termo-gravim trica, e a sua carateriza o cristalogr fica e microestrutural. Entre os resultados obtidos podemos referir que os filmes apresentaram uma boa homogeneidade qu mica e estrutural a n vel microm trico, as fases presentes nos filmes corresponderam s desejadas, onde se observaram os dom nios ferroel ctricos.