Modelagem Matemática de MEMS Utilizando Modelos Polinomiais Contínuos

Os MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) comp em uma tecnologia que tem ganhado destaque nas ltimas d cadas e sua difus o reflete um constante crescimento tanto em aplica es quanto em volume financeiro envolvido. Os produtos desta tecnologia representam um mercado emergente e que movimenta bilh es de d lares anuais. Contudo, h de se considerar a crescente exig ncia no quesito qualidade por parte daqueles que a utilizam. Este trabalho objetiva investigar um modelo matem tico que expresse uma din mica pr xima daquela observada em MEMS, visando contribuir para agilidade e qualidade dos testes.