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Mikrosystemtechnik für Ingenieure
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Mikrosystemtechnik für Ingenieure

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Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.

Redaktör
J rgen Mohr
ISBN
9783527663460
Språk
Tyska
Utgivningsdatum
2012-05-07
Förlag
WILEY
Tillgängliga elektroniska format
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