Spara
Micro and Nano Fabrication
Läs i Adobe DRM-kompatibel e-boksläsareDen här e-boken är kopieringsskyddad med Adobe DRM vilket påverkar var du kan läsa den. Läs mer
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.
- Undertitel
- Tools and Processes
- Författare
- Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jurg Leuthold
- ISBN
- 9783662443958
- Språk
- Engelska
- Utgivningsdatum
- 2015-01-02
- Tillgängliga elektroniska format
- PDF - Adobe DRM
- Läs e-boken här
- E-boksläsare i mobil/surfplatta
- Läsplatta
- Dator
