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Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Spara

Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

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ISBN
9783959080149
Språk
Tyska
Vikt
250 gram
Utgivningsdatum
2015-10-27
Sidor
144