Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme

Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinräumen stattfinden, gewinnt aus Gründen der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veröffentlichung wird eine Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Meßmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezüglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefaßt. Mit deren Anwendung ist es möglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Meßmethodik zur Verfügung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es möglich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen.