Couches minces fonctionnelles produites par des techniques de plasma

Les applications technologiques actuelles des mat riaux sont vastes, en particulier les m taux recouverts de films de nitrure. Ces derni res ann es, de nombreuses recherches ont t men es dans le but d'optimiser l'adh rence de ces films sur des substrats en acier afin d' largir leur champ d'application. Les films de nitrure compos s de cations m talliques, en particulier de titane, de zirconium, de chrome et d'aluminium, se sont r v l s tr s int ressants dans les applications o la duret de la surface, la r sistance la corrosion et la r sistance au cisaillement sont requises. Cependant, l'adh sion de ces films a t la principale limitation pour les applications tribologiques qui n cessitent un grand effort m canique de surface. Ce travail propose l' tude de techniques de dilution de l'interface film/substrat par: i) diffusion ou interdiffusion activ e thermiquement et ii) variation progressive de la composition chimique de l'interface film/substrat (films fonctionnels). Les films et interfaces form s entre des films TiN et AlN et des substrats en acier AISI M2 et AISI D6 ont t tudi s.