Capteurs de pression à nanofils

Il est bien connu que la micro lectronique est l'une des technologies les plus influentes du vingti me si cle. L'essor des syst mes micro lectrom caniques (MEMS), ces derni res ann es, n'aurait pas t possible sans la maturit de la technologie micro lectronique. Les MEMS sont de petits dispositifs int gr s qui combinent des l ments lectroniques, lectriques et m caniques sur une seule puce. Les MEMS promettent de r volutionner la plupart des micro-produits en combinant la micro-fabrication avec le processus de micro-usinage. Un niveau in gal de sup riorit , de sophistication, de fonctionnalit , de fiabilit et de disponibilit peut tre atteint sur une petite puce de silicium un co t relativement faible. Les MEMS l' chelle nanom trique se divisent en syst mes nano lectrom caniques (NEMS) et en nanotechnologies.