
Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
- Undertitel
- Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle
- Författare
- Ronald Hellriegel
- Upplaga
- 001
- ISBN
- 9783839106938
- Språk
- Tyska
- Vikt
- 208 gram
- Utgivningsdatum
- 2009-06-25
- Förlag
- BoD - Books on Demand
- Sidor
- 136
