Gå direkt till innehållet
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors
Spara

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Lägsta pris på PriceRunner

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ?m Cu-backend CMOS.

Upplaga
2014 ed.
ISBN
9789400767980
Språk
Engelska
Vikt
446 gram
Utgivningsdatum
2013-07-30
Förlag
Springer
Sidor
199