
Development of High Performance Piezoelectric AlScN for Microelectromechanical Systems
- Undertitel
- Towards a Ferroelectric Wurtzite Structure
- Författare
- Simon Fichtner
- ISBN
- 9783750431423
- Språk
- Engelska
- Vikt
- 222 gram
- Utgivningsdatum
- 2020-02-18
- Förlag
- Books on Demand
- Sidor
- 180
