
Bewertung Neuartiger Metallorganischer Precursoren Fur Die Chemische Gasphasenabscheidung Von Kupfer Fur Metallisierungssysteme Der Mikroelektronik
- Författare
- Thomas W Chtler, Thomas Wachtler
- ISBN
- 9783638949118
- Språk
- Engelska
- Vikt
- 145 gram
- Utgivningsdatum
- 2013-11-01
- Förlag
- GRIN Verlag
- Sidor
- 104
