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Vakuumbeschichtung
Spara

Vakuumbeschichtung

Behandelt werden Messungen an dunnen Schichten wahrend und nach der Beschichtung, Schichtdickenmessverfahren, Verfahren der Dunnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Undertitel
Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
Upplaga
Softcover reprint of the original 1st ed. 1994
ISBN
9783642635113
Språk
Tyska
Vikt
310 gram
Utgivningsdatum
2012-10-30
Sidor
368