Gå direkt till innehållet
Vakuumbeschichtung
Spara

Vakuumbeschichtung

Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstaubung, teilchengestutzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
Undertitel
Verfahren und Anlagen
Upplaga
Softcover reprint of the original 1st ed. 1995
ISBN
9783642633980
Språk
Tyska
Vikt
310 gram
Utgivningsdatum
2012-10-14
Sidor
481