Semiconductor Lithography
- Undertitel
- Principles, Practices, and Materials
- Författare
- Wayne M. Moreau
- Upplaga
- Softcover reprint of the original 1st ed. 1988
- ISBN
- 9781461282280
- Språk
- Engelska
- Vikt
- 310 gram
- Serie
- Microdevices
- Utgivningsdatum
- 2012-02-22
- Sidor
- 952