Gå direkt till innehållet
Process Variations in Microsystems Manufacturing
Spara

Process Variations in Microsystems Manufacturing

Författare:
inbunden, 2020
Engelska
This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.
Författare
Michael Huff
Upplaga
2020 ed.
ISBN
9783030405588
Språk
Engelska
Vikt
446 gram
Utgivningsdatum
2020-04-10
Sidor
521