
Practical MEMS
- Undertitel
- Analysis and Design of Microsystems, MEMS Sensors (accelerometers, Pressure Sensors, Gyroscopes), Sensor Electronics, Actuators, RF MEMS, Optical MEMS, and Microfluidic Systems
- Författare
- Ville Kaajakari
- ISBN
- 9780982299104
- Språk
- Engelska
- Vikt
- 446 gram
- Utgivningsdatum
- 2009-03-17
- Förlag
- Small Gear Publishing