Gå direkt till innehållet
Modelling of Microfabrication Systems
Modelling of Microfabrication Systems
Spara

Modelling of Microfabrication Systems

Läs i Adobe DRM-kompatibel e-boksläsareDen här e-boken är kopieringsskyddad med Adobe DRM vilket påverkar var du kan läsa den. Läs mer
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
ISBN
9783662087923
Språk
Engelska
Utgivningsdatum
2013-03-09
Tillgängliga elektroniska format
  • PDF - Adobe DRM
Läs e-boken här
  • E-boksläsare i mobil/surfplatta
  • Läsplatta
  • Dator