
Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro–Electro–Mechanical Systems (N/MEMS)
- Författare
- Mustafa Yavuz, Arthur Willoughby, Peter Capper, Safa Kasap
- ISBN
- 9781119130796
- Språk
- Engelska
- Vikt
- 446 gram
- Utgivningsdatum
- 2021-06-10
- Förlag
- Wiley-Blackwell
- Sidor
- 424