????????????? ??????? ????????????? ???&

Существует множество широких и нераспределенных частотных полос в субтерагерцовых частотах (выше 100 ГГц), которые являются привлекательными для широкополосных приложений. Потенциал этого нелицензированного и неиспользуемого терагерцового промежутка в спектре между микроволнами и оптическим спектром, такой как огромная пропускная способность, очень малый размер, очень высокая скорость передачи данных для беспроводных приложений связи между чипами и микросхемами и меньшая вероятность внешних помех, является проблемой не только для космических, но и для оборонных приложений. Недостаток вакуумных трубок (громоздкость и дискретность) может быть преодолен, если вакуумные трубки будут изготовлены по технологиям кремниевого нанопроизводства, а механизм работы будет смещен с термоионной эмиссии на полевую эмиссию. В данной дипломной работе представлена разработка с использованием соответствующих программных средств вакуумно-канального транзистора с размерами 150 нм. Этот транзистор работает на частоте выше микроволнового и ниже оптического спектра, таким образом, в диапазоне от 100 ГГц до 3 ТГц, используя традиционный кремниевый процесс.