Gå direkt till innehållet
Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography
Spara

Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography

Författare:
pocket, 2025
Engelska
Undertitel
Metasurface pellicles, phase/polarization pre-distortion, mask 3D shadowing compensation, Zernike budget tuning, thermal-radiative co-design, 2 nm/3 nm EPE/MEEF reduction With Python
Författare
H Wu
ISBN
9798279048793
Språk
Engelska
Vikt
812 gram
Utgivningsdatum
19.12.2025
Sidor
350