Siirry suoraan sisältöön
Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography
Tallenna

Meta-Pellicle Wavefront Pre-Correction for High-NA EUV Lithography

Kirjailija:
pokkari, 2025
englanti
Alaotsikko
Metasurface pellicles, phase/polarization pre-distortion, mask 3D shadowing compensation, Zernike budget tuning, thermal-radiative co-design, 2 nm/3 nm EPE/MEEF reduction With Python
Kirjailija
H Wu
ISBN
9798279048793
Kieli
englanti
Paino
812 grammaa
Julkaisupäivä
19.12.2025
Sivumäärä
350